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  • TESCOM™ 64-3600 系列高灵敏度调压器

    64-3600 系列超高纯度、高灵敏度减压型调压器提供低压降、束缚阀膜设计，具备 10 Ra/0.25 微米表面光洁度以及可选的 Hastelloy® 阀内件。进口压力为 600 或 3500 psig（41.4 bar 或 241 bar），出口压力可高达 150 psig (10.3 bar)。非常适合用于 1/4" 使用点、气瓶柜、半导体制造和阀箱应用。



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  • 特点
  • 技术参数
  • 文档与图纸
  • 内部表面光洁度为 10 Ra 微英寸/0.25 微米
  • 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性
  • 内部经全面电解抛光处理
  • 旨在减少半导体气体系统中的压力波动
  • 满足严苛的半导体行业的使用点和
  • 气瓶应用要求
  • 压力额定值
    最大进口压力：600 或 3500 psig / 41.4 或 241 bar
    出口压力范围：30、60、100、150 psig / 2.1、4.1、6.9、10.3 bar
  • 阀体材质
    经电解抛光的 316L 不锈钢或 316L VAR 不锈钢
  • 阀膜
    Hastelloy®
  • 阀座
    PCTFE、Teflon PFA® 或 Vespel®
  • 阀杆和阀弹簧
    316 不锈钢
  • 其他部件
    316 不锈钢或 Hastelloy®
  • 工作温度
    Teflon® PFA 阀座：-40 至 71°C/-40 至 160°F
    Vespel® 阀座：-40 至 177°C/-40 至 350°F
    PCTFE 阀座：-40 至 60°C/-40 至 140°F
  • 端口尺寸和类型
    1/4、1/2
    外螺纹旋转、内螺纹旋转、外螺纹固定、HPIC
    1/4 管接头
  • 流通能力
    Cv = 0.15 或 0.06
  • 重量
    2 lb / 0.9 kg



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