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  • TESCOM™ 12 系列无弹簧无螺纹调压器

    12 系列是一种微型超高纯度工业气体 （IGS）/VCR® 减压型调压器。 12 系列提供 5 Ra 或 10 Ra 微英寸的光洁度，采用束缚阀膜以及内部无弹簧和无螺纹的设计。 进口压力为 150 psig / 10.3 bar，出口压力为 250 mm Hg-15、30、60、100 psig / 250 mm Hg-1.0、2.1、4.1、6.9 bar，流速可达 120 SLPM。 非常适合用于 OEM 工具、气箱和低压气瓶柜。



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  • 特点
  • 技术参数
  • 文档与图纸
  • 适用于高级 OEM 气体系统的理想产品
  • 高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 （MFC） 性能
  • 适用范围广，性能优越
  • 流量：2 SCFM 至 120 SLPM
  • 在微型元件中提供卓越的压降和重复性
  • 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性
  • 内部表面光洁度为 10 Ra 或 5 Ra 微英寸
  • 符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格
  • 额定压力
    最大进口压力：
    150 psig / 10.3 bar
    最大出口压力：
    250 mm Hg-15 psig / 250 mm Hg-1.0 bar
    0-30、0-60、0-100 psig / 0-2.1、0-4.1、0-6.9 bar
  • 材质
    阀体：316L VAR 不锈钢
    阀膜：Hastelloy®
    阀座：PCTFE
    阀杆：Hastelloy®
    其他部件材质：316L VAR 不锈钢
  • 工作温度
    -40°F 至 140°F / -40°C 至 60°C
  • 连接件
    焊接：1/4" VCR® 或管接头
    表面安装：1.125" 或 1.50" 占用空间
  • 流通能力
    标准：Cv = 0.04
    高流量：Cv = 0.08
  • 重量
    VCR®、IGS：0.60 lb / 0.3 kg
    A 型：1.08 lb / 0.5 kg



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